等離子體增強(qiáng)MOCVD

等離子體增強(qiáng)MOCVD概述：

    MOVPE，也就是大名鼎鼎的MOCVD(金屬有機(jī)物化學(xué)氣相沉積), 針對(duì)InGaN及AlGaN沉積工藝所研發(fā)的臺(tái)式等離子輔助金屬有機(jī)化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)(PA-MOCVD),該系統(tǒng)具有加熱的氣體管路、5個(gè)鼓泡裝置(各帶獨(dú)立的冷卻槽)、950度樣品臺(tái)三個(gè)氣體環(huán)、PC全自動(dòng)控制、淋浴式氣體分布的RF射頻等離子源以及工藝終端的N2沖洗、 250l/sec渦輪分子泵及無(wú)油真空泵(5 x 10-7Torr極限真空)，*的安全互鎖。

    目前，NANO-MASTER(那諾-馬斯特)的這項(xiàng)技術(shù)延伸到5個(gè)4"晶圓的立柜式獨(dú)立批處理系統(tǒng)，該系統(tǒng)可以集成到集群配置中以滿足高產(chǎn)量的要求。

等離子體增強(qiáng)MOCVD型號(hào)：

• 臺(tái)式系統(tǒng)
• 5個(gè)帶獨(dú)立冷卻槽的起泡器
• 加熱的氣體管路
• 950 °C樣品臺(tái)，2"晶圓片
• 3個(gè)氣體環(huán)
• RF等離子源，帶淋浴頭氣體分布
• 工藝完成后N2自動(dòng)沖洗
• 極限真空5x10-7Torr
• 250 l/s的渦輪分子泵串接無(wú)油干泵
• 通過(guò)LabView軟件實(shí)現(xiàn)PC計(jì)算機(jī)全自動(dòng)控制
• 菜單驅(qū)動(dòng)，4級(jí)密碼訪問(wèn)控制
• 完整的安全聯(lián)鎖

配置：

• 獨(dú)立系統(tǒng)
• 14"不銹鋼立方體腔體
• 1次在8"樣品臺(tái)上處理1個(gè)6"晶圓片或在12"樣品臺(tái)上處理5片4"片子
• 加熱的氣體管路
• RF等離子源，自動(dòng)調(diào)諧
• 淋浴頭氣體分布
• 1100°C的旋轉(zhuǎn)樣品臺(tái)
• N2沖洗
• 手動(dòng)或自動(dòng)的晶圓片上下載
• 可以兼容到集群配置中

應(yīng)用：

• 3到5族半導(dǎo)體層
• 藍(lán)色發(fā)光二極管
• 激光二極管
• 紫外-可見光譜光電中的氮化銦納米棒
• 3D或2D材料中的二硫化鉬、氮化硼、石墨烯