熱真空系統(tǒng)

NDT-4000熱真空系統(tǒng)概述：NDT-4000是NANO-MASTER器件測(cè)試系統(tǒng)，用于極真空及可控均勻的加熱和冷卻循環(huán)套件下測(cè)試器件或樣品。該系統(tǒng)具有計(jì)算機(jī)控制、安全連鎖，以及多級(jí)密碼授權(quán)訪問(wèn)保護(hù)的功能。它可以用于超過(guò)24小時(shí)的圈子全自動(dòng)熱、冷循環(huán)情況下測(cè)試器件/樣品，溫度條件通過(guò)程序定義。該系統(tǒng)z通常的應(yīng)用之一是太空模擬。

系統(tǒng)腔體的大致尺寸為：直徑24"，長(zhǎng)度43"。帶有一個(gè)16"x32"的滑動(dòng)加熱平，可以冷卻到零下100攝氏度。熱真空平臺(tái)也可以加熱到150攝氏度，具有高度的均勻度。在去邊3cm后整個(gè)平臺(tái)的溫度均勻度可達(dá) /-1攝氏度。加熱平臺(tái)安裝在滾軸上，可以方便拉出至大到75%的長(zhǎng)度，腔體提供20個(gè)RF連接頭，尺寸為2.92mm，可以支持高達(dá)40GHz的頻率。腔體的兩側(cè)分別有一個(gè)50針的引線。真空系統(tǒng)包含HiPace1200（1000 L/s抽速）渦輪分子泵以及一個(gè)ISP500干泵，系統(tǒng)的極限真空可達(dá)7x10-8Torr，20分鐘內(nèi)可達(dá)到10-6Torr級(jí)別。

另外，我們可以根據(jù)客戶需要提供定制的引線、額外的儀器法蘭以及真空泵升級(jí)等。

NDT-4000熱真空系統(tǒng)應(yīng)用：

Device Testing in Temperatures -100 ⁰C to 150 ⁰C in Extreme Vacuum for Space Simulation

用于模擬太空環(huán)境極真空下溫度從-100 ⁰C 到 150 ⁰C情況下的器件測(cè)試

產(chǎn)品特點(diǎn)：

• Controllable uniform heat and cold cycle conditions 可控的均勻加熱行業(yè)冷卻循環(huán)條件
• Computer controlled 計(jì)算機(jī)控制
• Safety interlocks  完整的安全聯(lián)鎖
• Multiple levels of access with password restrictions  4級(jí)密碼訪問(wèn)保護(hù)
• Chamber size is 43” in length and 24” in diameter 腔體尺寸43”長(zhǎng)，24”直徑
• Sliding thermal platform of 16” x 32” cooled to -100⁰C 滑動(dòng)式加熱平臺(tái)的面積為16”x32”，可冷卻到-100⁰C
• Thermal platform can also be heated to 150⁰C with 3 cm exclusion zone around the edges achieving the uniformity of ±1⁰C throughout the platform 
• 熱平臺(tái)可加熱到150⁰C，去邊3cm后平臺(tái)的熱均勻度可達(dá)±1⁰C
• Thermal platform is mounted on rolls so that it can be pulled out to 75% of its length for loading devices/samples  熱平臺(tái)安裝在滾動(dòng)軸上，可以拉出總長(zhǎng)度的75%，便于器件/樣片放置取出
• Chamber has a provision of 20 RF connectors 2.92mm size which can hold up to 40 GHz of frequency 腔體提供20個(gè)RF連接器，尺寸為2.92mm，可以支持到40GHz的頻率
• Two 50 pin DC feedthroughs are also provided on either sides of the chamber  提供2個(gè)50 pin的DC直流引線，分別位于腔體的兩端
• Vacuum system consists of turbo molecular pump and dry scroll pump  真空系統(tǒng)包含渦輪分子泵和干泵
• Base pressure 7 x 10-8 Torr, 10-6 Torr range in less than 20 minutes  極限真空7x10-8Torr，20分鐘以內(nèi)可以達(dá)到10-6Torr級(jí)別
• Custom feedthroughs   可根據(jù)客戶需要提供引線定制方案
• Additional instrumentation flanges and pump upgrades can be done upon request  可根據(jù)用戶需要提供額外的儀器法蘭及真空泵升級(jí)

軟件：

• 實(shí)時(shí)溫度曲線
• 程序開(kāi)發(fā)
• 全自動(dòng)抽真空及卸壓
• 全自動(dòng)溫度控制
• 實(shí)時(shí)渦輪速度、系統(tǒng)真空和溫度監(jiān)控
• 兩個(gè)Excel表的數(shù)據(jù)記錄用于評(píng)估

廠務(wù)要求：

• 主腔體尺寸為：50"Hx50"26"D
• 制冷單元尺寸為：67"Hx36"26"D
• 制冷單元變壓器：27"Hx23"15"D
• 電源要求：380V，3相交流電，35A/相
• 主系統(tǒng)冷卻水：20-30PSI，1.5gpm流速
• 冷卻單元冷卻水：20-30PSI，5gpm流速
• N2：80PSI